企业名称（盖章）
靖江先锋半导体科技有限公司
需求项目名称
大规模集成电路等离子刻蚀机设备及其部件的高密度加工
需求项目
所属领域
□电子信息 □能源环保 ■装备制造 □生物技术与新医药 □新材料 □高科技农业 □海洋技术 □其他
所处阶段
□研制阶段 □试生产阶段 ■小批量生产阶段
□批量生产阶段 □其他
项目需求缘由
■新产品开发 □产品升级换代 □生产线技术改造
□制造工艺改进 □制造装备改进 □其他
意向合作方式
□产权转让 ■合作开发 □技术咨询 □技术服务
□寻试验基地 □其他
意向合作单位
具有高端设备，精密仪器制造，研发能力的单位
拟投入资金额
500万元
期望达产效益
1500万元
项目简要说明及
主要技术参数
（限500字）
我公司研发的大规模集成电路等 离子刻蚀机为“十一五”国家重点专项之一，着重对该设备的核心部件进行深入的研究和探讨，该设备经过精密机械加工，微纳米制造，超洁净阳极化处理等高端精密制造完成。
联 系 人
管明月
电 话
15152668862
传 真
E-mail/网址
452689680@qq.com
地 址
邮 编
