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金属所科研成果

铝合金腔体表面防护和缺陷修复技术
发布者： admin   发布时间：2015-09-22   点击率： 1163
技术项目名称 铝合金腔体表面防护和缺陷修复技术
项目简介
   项目简介：本项目采用冷喷涂在铝合金腔体表面喷涂防护涂层，或对铸造铝合金缺陷进行修复，满足其使用要求。该技术提供一种等离子刻蚀腔体表面防护涂层的制备方法，该涂层能减少或阻止腐蚀性气体对腔体的腐蚀和金属离子对半导体晶片的污染，提高等离子体刻蚀晶片生产中反应室腔体材料的使用寿命。
  技术特点(包含主要技术指标）：本项目利用冷喷涂低温高速的特点，一方面在铝合金表面喷涂防护涂层，解决铝合金在强腐蚀介质中的腐蚀问题，同时保持铝合金零部件的尺寸精度；另一方面也可以对具有铸造缺陷或磨损的铝合金部件进行修复，满足其使用要求。
  应用领域：大规模集成电路等离子体刻蚀腔体表面防护。
  相关照片：
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合作方式     □联合开发         □技术转让/许可
    □技术入股         □其他
宣传方式     □是否同意在网络上发布该技术信息
    □是否允许在相关技术介绍册内介绍该技术信息
备注 　

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