负责人：赵玉龙，白光辉 

联系电话：029-82668616

E-mail：zhaoyulong@mail.xjtu.edu.cn

所在学院：机械学院

项目介绍：

该项目应用先进的MEMS技术，研制完成了耐高温压力传感器设计、制造关键技术及系列产品开发。解决了一直困扰航空航天、石油化工、军工、能源电力等领域因高温、高频响、高过载、微型化、瞬时高温冲击等恶劣环境下的压力、力、加速度测量难题。研制的压力传感器主要技术指标：工作温度：-40-200℃；压力量程：0～1000MPa任意量程；固有频率：≤1MHz:综合精度：0.5 %FS。高G值加速度计指标：1×1015g（g为重力加速度）。